【新技術(shù)】線色譜傳感器—高速下的高精度

WERTH為2017年Control展隆重推出新研發(fā)的傳感器系列：線色譜傳感器（Chromatic Focus Line Sensor, CFL）。其可以快速采集整個零件的幾何形狀。通過選用不同的物鏡，調(diào)節(jié)測量誤差和測量范圍來適應(yīng)各種應(yīng)用需求。通過大的軸向測量范圍，不需要針對零件幾何形狀的可控的補充。以便通過掃描，快速并大面積獲取零件幾何形狀。針對表面有高度變化的零件可以采用3D仿樣進(jìn)行掃描。線色譜傳感器可以用于測量漫反射、鏡面和透明零件以及有較大傾斜角的零件表面。

CFL在零件表面投影一排約200個白色光點。從零件表面反射回的光線將通過光譜分析，確定傳感器和零件表面之間的距離。通過新的線傳感器次實現(xiàn)了高速并且高精度地、完整地采集零件3D數(shù)據(jù)。僅僅用3秒鐘就能夠測量100萬個測量點。

線色譜傳感器還具有另一個有趣的功能：反射回的光的波長強度被分析評估，并創(chuàng)建零件表面的柵格圖像。其后續(xù)的分析評估允許通過圖像處理軟件“在圖像內(nèi)”確定零件坐標(biāo)系或者測量幾何特征。在此基礎(chǔ)上，由于位置的確定，可以不需要傳感器轉(zhuǎn)換就使用各種其他傳感器進(jìn)行測量。

在快速的測量速度下，CFL的測量允許測量精密零件和微特征。該傳感器不僅可以用于鏡面或者透明零件如沖壓印模或者硬質(zhì)合金及金剛石刀具的測量，也可以用于漫反射的塑料零件的測量。通過高點密度來確定不同表面的形貌。例如微機械零件手表表盤。CFL的另一個典型應(yīng)用是在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，在生產(chǎn)工序中，對于LED陣列的共面的測量。作為測量結(jié)果，是以點云的形式體現(xiàn)零件表面的完整形狀，借此測量平面度或者粗糙度以及幾何元素。也可以用顏色編碼顯示出理論實際值偏差。

手表表盤的柵格圖像